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荷蓝,埃因霍温,阿斯唛()研发实验室。
空气中弥漫着一种近乎凝固的兴奋,混合着精密仪器的特殊冷却液气味和咖啡的浓郁香气。
巨大的洁净室内,一台庞大而复杂的机器,人类历史上第一台极紫外()光刻机原型机,正静静地矗立在中央,仿佛一头蛰伏的金属巨兽。
虽然它此刻的晶圆良品率低得可怜,仅有%,光源输出功率也忽高忽低,稳定性堪忧,远未达到商用标准,但这并不妨碍围绕它的研发人员们脸上洋溢着巨大的成就感和狂喜。
突破了!
他们真的突破了物理的极限,为摩尔定律的延续凿开了一道新的曙光!
与已经十分成熟、但已逼近物理极限的深紫外()光刻机相比,这台